水浸超聲顯微鏡是一種基于高頻超聲波的無損檢測設(shè)備，通過液體耦合介質(zhì)(通常為水)穿透材料內(nèi)部，對缺陷進(jìn)行高分辨率成像。用于檢測材料內(nèi)部的微小缺陷(如裂紋、空洞、分層、夾雜等)，檢測精度可達(dá)微米級，能夠識別半導(dǎo)體、電子元件、航空航天部件等復(fù)雜結(jié)構(gòu)中的微小缺陷。
通過超聲波換能器發(fā)射高頻超聲波，經(jīng)液體耦合進(jìn)入材料內(nèi)部，缺陷處形成不同反射/折射波，收集并分析這些波的強(qiáng)度和方向，生成缺陷的超聲強(qiáng)度圖像。
水浸超聲顯微鏡以水為耦合介質(zhì)，通過高頻超聲換能器發(fā)射超聲波，超聲波在材料中傳播，當(dāng)遇到材料內(nèi)部的缺陷或不同介質(zhì)的界面時，部分能量會被反射回來，換能器接收反射回來的超聲波，并將其轉(zhuǎn)換成電信號，經(jīng)過軟件數(shù)據(jù)處理，構(gòu)建出二維的 C 掃描圖像，從而實現(xiàn)對材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的可視化檢測。
結(jié)構(gòu)組成：主要包括工業(yè)電腦、采集分析軟件、超聲換能器、工控機(jī)、水循環(huán)系統(tǒng)、不銹鋼框架結(jié)構(gòu)及運動模組等。其中，運動模塊負(fù)責(zé)超聲換能器的聚焦、掃描運動等；超聲的發(fā)射與采集模塊負(fù)責(zé)聲學(xué)通路的信號發(fā)射與獲取；工業(yè)主機(jī)負(fù)責(zé)控制運動和采集過程，并對采集的回波數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理與顯示。
產(chǎn)品特點：可兼容多種頻率的超聲探頭，具備定量分析功能，能以圖像方式直觀顯示被測件內(nèi)部缺陷的位置、形狀和大小，并進(jìn)行缺陷的尺寸和面積統(tǒng)計等；檢測軟件自主研發(fā)，操作界面友好，可根據(jù)客戶需求對功能進(jìn)行持續(xù)升級。
廣泛應(yīng)用于新能源、半導(dǎo)體、電力電子、熱管理材料、金剛石復(fù)合材料、碳纖維復(fù)合材料等行業(yè)。例如在半導(dǎo)體行業(yè)，可用于檢測芯片封裝內(nèi)部的缺陷，如分層、空洞等；在新能源行業(yè)，可用于檢測鋰電池內(nèi)部的結(jié)構(gòu)缺陷。
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